本实用新型公开了刻蚀腔体的支撑装置和刻蚀腔体，刻蚀腔体包括腔室本体和腔盖，腔盖可旋转地连接在腔室本体上，支撑装置适于在腔盖打开腔室本体时支撑在腔盖的背面，支撑装置包括：第一固定块和第二固定块，第一固定块和第二固定块沿刻蚀腔体的左右方向间隔开布置，第一固定块和第二固定块均固定在机架上；可折叠支撑杆，支撑杆的一端可转动地连接在第一固定块上，支撑杆可在展开状态和收纳状态之间进行切换，支撑杆处于收纳状态时支撑杆的另一端通过拨动杆限位在第二固定块上，支撑杆处于展开状态时拨动杆释放支撑杆且支撑杆展开呈人字形状。根据本实用新型的刻蚀腔体的支撑装置，不会额外占用机架周围的地面空间，使用方便，便于收纳。