一种刻蚀机的刻蚀腔体结构
授权
摘要

本实用新型公开了一种刻蚀机的刻蚀腔体结构,包括方体,所述方体内部开设有第一凹槽,所述第一凹槽内部设有从动轴,所述从动轴外壁转动连接有第一支撑板,所述第一支撑板一端与第一凹槽内壁固定连接,所述从动轴一端固定连接有转杆,所述转杆远离从动轴一端固定连接有滑块。本实用新型通过在电机输出轴一端设置主动轴,主动轴与第一凹槽之间的轴承,可以有效减少摩擦阻力,转杆和滑块的加入,使活动板可以往复运动,第一滑槽的加入,使滑杆的运动轨迹得到限制,弹簧的加入,使滑板可以回到原来位置,第一滑槽长度与第二滑槽长度相等,第一滑槽宽度小于第二滑槽宽度,使滑板不会从第二滑槽内部滑出。

基本信息
专利标题 :
一种刻蚀机的刻蚀腔体结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022514647.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-03
授权号 :
CN214075238U
授权日 :
2021-08-31
发明人 :
郑少萍陈涛
申请人 :
无锡芯汉电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市湖滨路655号325室
代理机构 :
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
聂启新
优先权 :
CN202022514647.X
主分类号 :
B01D29/01
IPC分类号 :
B01D29/01  B01D29/64  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D29/00
不包括在组B01D24/00至B01D27/00中的过滤期间过滤元件不动的过滤器,例如压滤器或吸滤器;其过滤元件
B01D29/01
带有平的过滤元件
法律状态
2021-08-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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