一种刻蚀机用刻蚀电极的上电极结构
授权
摘要
本实用新型涉及刻蚀机用刻蚀电极结构技术领域，具体涉及一种刻蚀机用刻蚀电极的上电极结构，包括喷淋头电极盘，喷淋头电极盘的顶部开设有内腔，内腔的底部均匀开设有贯穿的喷淋孔，喷淋头电极盘的顶部外侧设有下安装环，下安装环的顶部内侧端开设有下密封槽、外侧端周向开设有下安装孔，喷淋头电极盘的上方设有分配盘，分配盘的顶部和底部对称开设有球面凹槽，分配盘的顶部均匀开设有贯穿底部的分配孔，分配盘的底部外侧设有上安装环，本实用新型提供了一种刻蚀机用刻蚀电极的上电极结构，通过一系列结构的设计和使用，解决了大多结构单一、仅仅能够起到作为导电电极使用，而不能提高工艺气体分配时的均匀效果，同时安装不方便的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种刻蚀机用刻蚀电极的上电极结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021750004.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN212542350U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
陆桥宏任志强王小艳何东旺
申请人 ：
无锡展硕科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市梁溪区市会北路26-18
代理机构 ：
无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨立秋
优先权 ：
CN202021750004.9
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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