用于刻蚀机台的电极
授权
摘要
本实用新型提供一种用于刻蚀机台的电极，其包括内电极，所述内电极的下表面具有凸起部，所述凸起部朝向远离所述内电极的方向凸起。本实用新型的优点在于，提高刻蚀目标物上方的等离子体密度的均匀性，避免由于等离子体密度不均匀而造成的栅线及沟道关键尺寸发生变化，提高良率。
基本信息
专利标题 ：
用于刻蚀机台的电极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922249595.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211719556U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
豆海清郑亮刘青松邵克坚任连娟
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
董琳
优先权 ：
CN201922249595.5
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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