钟摆阀及采用该钟摆阀的半导体刻蚀机台
授权
摘要
本实用新型提供一种钟摆阀及采用该钟摆阀的半导体刻蚀机台，本实用新型的一优点在于，钟摆阀的第一挡板与所述第二挡板能够沿对称线对称地同步反向移动，使得外部部件能够左右对称地开启，从而避免现有技术中的两侧区域的气体压力不一致的情况发生。
基本信息
专利标题 ：
钟摆阀及采用该钟摆阀的半导体刻蚀机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920445485.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-03
授权号 ：
CN210164920U
授权日 ：
2020-03-20
发明人 ：
许凯张大龙朱勇马风柱王敏磊刘家桦叶日铨
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201920445485.3
主分类号 ：
F16K3/06
IPC分类号 ：
F16K3/06 F16K3/314 F16K31/04 F16K31/44 F16K31/53 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K3/00
闸门阀或滑阀，即带闭合元件的切断装置，闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动
F16K3/02
带有平的密封面；其所用填料
F16K3/04
带有转动式闭合元件
F16K3/06
以闭合板的形式配置在进出通道之间
法律状态
2020-03-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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