一种刻蚀机的下电极屏蔽装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种刻蚀机的下电极屏蔽装置，包括固定底座，所述固定底座内部顶端两侧设有丝杆，所述丝杆一侧设有转动轮，所述丝杆外侧两端均设有活动座，所述活动座顶端两侧均设有活动板，所述活动板顶端设有固定板，所述固定板与固定底座之间设有电极柱，同侧的两个所述活动板之间设有屏蔽弧板，所述屏蔽弧板弧形内侧设有防护垫。本实用新型通过丝杆、屏蔽弧板和防护垫的设置，伺服电机工作可以带动丝杆进行转动，进而可以调节两个屏蔽弧板之间的距离，进而使得屏蔽弧板和防护垫可以对电极柱进行屏蔽，可以加强电极柱的屏蔽效果，同时也使得屏蔽弧板可以更好地进行调节，进而可以提高刻蚀机的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种刻蚀机的下电极屏蔽装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022512340.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
CN213366523U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
吴峰唐建成
申请人 ：
无锡芯汉电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市湖滨路655号325室
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
聂启新
优先权 ：
CN202022512340.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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