等离子刻蚀机的电极结构
授权
摘要
本实用新型涉及一种等离子刻蚀机的电极结构，包括：第一电极，具有第一表面，第一表面用于承载样品；位于第一电极上方且相对于第一电极设置的第二电极；以及第三电极，具有第二表面，第三电极可移动地设于第二电极的外侧，以调节第二表面相对于第一表面的距离。
基本信息
专利标题 ：
等离子刻蚀机的电极结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021884068.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-01
授权号 ：
CN213026045U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
何进卿夏志良张光轩刘青松豆海清
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
骆希聪
优先权 ：
CN202021884068.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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