一种干法等离子刻蚀机电极

授权

摘要

本实用新型涉及等离子刻蚀机电极技术领域，具体涉及一种干法等离子刻蚀机电极，包括用于与刻蚀腔的底部固定连接的吸气管，吸气管的上端设有下电极托盘，下电极托盘的顶部均匀开设有放置槽，本实用新型提供了一种干法等离子刻蚀机电极，通过一系列结构的设计和使用，本实用新型在进行使用过程中，达到了结构合理、操作便捷、功能多样的优点，在使用泵的保护装置时提高了对泵本体进行定位固定安装的效果，而且同时可以达到对泵本体进行减震、降噪和散热的目的，进而提高了泵的保护装置的使用效率，进而提高了泵的保护装置的实用性。

基本信息

专利标题：

一种干法等离子刻蚀机电极

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922363086.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-25

授权号：

CN210897192U

授权日：

2020-06-30

发明人：

马东李晓玲

申请人：

无锡小迪电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-909

代理机构：

无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

杨立秋

优先权：

CN201922363086.5

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32