一种干法刻蚀设备及其顶盖
授权
摘要
本实用新型提供的一种干法刻蚀设备及其顶盖，所述顶盖具有腔室，所述顶盖包括下顶盖和上顶盖，所述上顶盖盖合在所述下顶盖上，所述上顶盖远离所述下顶盖的一侧具有一把手，所述把手固定在所述上顶盖上。本实用新型的顶盖在保养时仅需要通过抓取把手将上顶盖移开即可，无需将整个顶盖一起移开，减轻了维修时需要移开的重量，便于操作，方便了维修人员的日常维护工作，预防了事故的发生。
基本信息
专利标题 ：
一种干法刻蚀设备及其顶盖
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920859931.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-06
授权号 ：
CN210015835U
授权日 ：
2020-02-04
发明人 ：
薛荣华阚保国刘家桦叶日铨
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201920859931.5
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-02-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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