一种用于干法刻蚀的硅片夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板、压板，所述底板四周设有定位件，所述定位件上设有定位孔，直线导轨固定安装在定位孔内；所述压板上设有穿过压板的T型套筒和压紧机构，所述压紧机构包括支撑柱、第一固定件、套筒、第二固定件、第一连接件、移动件、压杆和活动杆。本实用新型结构简单、操作方便、降低劳动强度、提高工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于干法刻蚀的硅片夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021645346.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN212695119U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
王宜
申请人 ：
江苏斯米克电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区高运路109号
代理机构 ：
南京常青藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
史慧敏
优先权 ：
CN202021645346.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/687
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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