一种用于硅片样品的刻蚀的夹具及组件
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种用于硅片样品的刻蚀的夹具及组件，所述夹具包括：支撑板，所述支撑板适于装载在料篮中，所述料篮用于装载完整硅片以对所述完整硅片进行刻蚀；夹持板，所述夹持板具有带状的主体部和从所述主体部的边缘突出的多个突出部，所述主体部固定至所述支撑板，所述多个突出部中的每一个适于与所述支撑板一起将所述硅片样品夹持。
基本信息
专利标题 ：
一种用于硅片样品的刻蚀的夹具及组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022274550.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-13
授权号 ：
CN212750832U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
张婉婉
申请人 ：
西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区西沣南路1888号
代理机构 ：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李斌栋
优先权 ：
CN202022274550.6
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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