一种用于大尺寸薄硅片的刻蚀烘干装置
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摘要
本实用新型涉及一种太阳能电池加工装置，尤其是一种用于大尺寸薄硅片的刻蚀烘干装置，属于太阳能电池设备技术领域。本实用新型的结构由刻蚀槽、水槽、碱槽、水槽、混酸槽、水槽、烘干槽依次排列组成，各槽之间经滚轮传动，所述烘干槽设有槽盖，所述槽盖及位于烘干槽的滚轮之间设有加热装置。本实用新型的技术方案可实现多点静态加热，理论上可根据硅片的尺寸随意增大，200mm硅片尺寸完全可实现快速烘干效果，对于超薄硅片减少碎片率，降低硅成本；灯管功率可设定，在合适材质的滚轮和槽体中，可实现超高温烘干，有利于提高硅片表面的受热均匀性，灯管的加热烘干方式可满足大尺寸、薄片化、高效、高洁净度的生产要求。
基本信息
专利标题 ：
一种用于大尺寸薄硅片的刻蚀烘干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921293106.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-09
授权号 ：
CN210379088U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
刘晓瑞王茜茜职森森吴仕梁路忠林张凤鸣
申请人 ：
江苏日托光伏科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区锡士路20号
代理机构 ：
南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱磊
优先权 ：
CN201921293106.X
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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