一种硅片单面处理夹具

授权

摘要

本实用新型提供一种硅片单面处理夹具，其特征在于，包含圆形夹具底座；所述夹具底座连接手握柄，所述夹具底座的上侧中心处设有圆形安装沉台，所述夹具底座上侧连接圆环形夹具盖板，所述夹具盖板的内径小于所述安装沉台的直径；所述夹具盖板与所述夹具底座接触的一侧设有环形第一凹槽，所述第一凹槽内设有第一密封圈，所述第一密封圈的直径等于所述安装沉台的直径。本实用新型的一种硅片单面处理夹具，体积小巧美观，使用分体式设计，拆装简单快捷，采用双重防腐蚀密封圈设计，有效地保证了硅片不被损坏；且可定向面清洗，大大节约了资源，降低了处理成本。

基本信息

专利标题：

一种硅片单面处理夹具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920711531.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-17

授权号：

CN209766395U

授权日：

2019-12-10

发明人：

刘金升杨青山

申请人：

苏州施密科微电子设备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市相城区太平街道聚金路5号

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

吕明霞

优先权：

CN201920711531.X

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687