可调式传递承载硅片的夹具
专利权的终止
摘要
本实用新型硅片处理设备制造技术领域，涉及一种可调式传递承载硅片的夹具，包括侧板、夹边，两侧板间固定连接一夹边，两夹边设置对应凹槽，侧板开设滑道，螺栓穿过滑道将侧板与另一夹边固定连接。本实用新型的可调式传递承载硅片的夹具，一夹边与侧板固定连接，另一夹边与侧板通过螺栓连接，该夹边可沿滑道移动，从而调节与固定夹边之间的夹距。因此，本实用新型的夹具可以夹持不同规格的硅片，特别适用于夹持非标准规格的硅片，降低了成本，提高了夹具的利用率，减少了库存空间。
基本信息
专利标题 ：
可调式传递承载硅片的夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620141775.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-12-30
授权号 ：
CN201017865Y
授权日 ：
2008-02-06
发明人 ：
吴云才刘磊磊
申请人 ：
浙江昱辉阳光能源有限公司
申请人地址 ：
314117浙江省嘉善县姚庄镇工业园区宝群路8号
代理机构 ：
浙江杭州金通专利事务所有限公司
代理人 ：
徐关寿
优先权 ：
CN200620141775.1
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2014-02-26 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101573323302
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2006201417751
申请日 : 20061230
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 20121230
号牌文件序号 : 101573323302
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2006201417751
申请日 : 20061230
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 20121230
2008-02-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
