硅片手动上料夹具

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供了硅片手动上料夹具，包括工作台，所述工作台的顶端设置有第一安装板与第二安装板，所述第一安装板的顶端设置有第一工作载物台与第二工作载物台，所述第一工作载物台远离第二工作载物台的一侧设置有第一推杆，所述第一工作载物台的内腔设置有第一满载片蓝，所述第二工作载物台的内腔设置有第二满载片蓝，所述第二安装板的顶端设置有固定台与空载石英舟。本实用新型设置有叠片部分，整体结构下配有第一斜板来满足片蓝导向的一致性，同时第一、第二工作载物台具有0.5mm的高度落差，通过推杆可将两个背靠背放置的满载片蓝中的硅片由第一载物台导入第二载物台，从而实现第二载物台中的第二片蓝中每槽均为背靠背放置的硅片。

基本信息

专利标题：

硅片手动上料夹具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921046953.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-06

授权号：

CN210429769U

授权日：

2020-04-28

发明人：

孙斌陈昌中陈程浦锡伟徐鑫鑫

申请人：

无锡华源晶电科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园12号楼（B3）101、201室

代理机构：

无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

盛际丰

优先权：

CN201921046953.6

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L31/18