一种可调节大小的硅片夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种可调节大小的硅片夹具，包括安装板、夹紧模块、驱动模块，夹紧模块、驱动模块安装于安装板上。夹紧模块包括线性滑轨、滑块连接板、靠板安装板、靠板，驱动模块包括驱动气缸、旋转板、连杆一、连杆二，滑轨固定于安装板上，驱动气缸通过旋转板驱动连接于连杆一、连杆二上的滑块连接板滑动，从而使设置于滑块连接板上的靠板安装板与靠板对硅片进行夹紧或松开，本实用新型的可调节大小的硅片夹具硅片夹取效率高，人员依赖性低，具有夹取的硅片完整性好，速度快的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种可调节大小的硅片夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922179834.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-06
授权号 ：
CN211709331U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
叶欣胡普查张广犬孙培文王俊王亚伟黄游谢可馨
申请人 ：
杭州中为光电技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区钱江经济开发区龙船坞路96号
代理机构 ：
浙江英普律师事务所
代理人 ：
陈小良
优先权 ：
CN201922179834.4
主分类号 ：
B25J15/00
IPC分类号 ：
B25J15/00 B65G47/91
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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