一种可视盖板以及干法刻蚀机
授权
摘要
本申请实施例公开了一种可视盖板以及干法刻蚀机，可视盖板应用于干法刻蚀机，干法刻蚀机具有进气口以及刻蚀腔，可视盖板开设有气道，气道开设于可视盖板内部，气道用于连通进气口以及刻蚀腔。本申请实施例中，对刻蚀腔进行检修或者维护后，需要取下可视盖板时，可视盖板内开设的气道能够让进气口处的气体进入处于真空状态的刻蚀腔内，使得刻蚀腔的内部气压和外部气压相差较小，从而降低将可视盖板从刻蚀腔上取下的难度。
基本信息
专利标题 ：
一种可视盖板以及干法刻蚀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122564354.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-22
授权号 ：
CN216698273U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
程思王辅之李豪青义杰王鑫维李兴光
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京恒博知识产权代理有限公司
代理人 ：
张琦
优先权 ：
CN202122564354.7
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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