大容量圆筒形平板型干法刻蚀机
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
大容量圆筒形平板型干法刻蚀机是一种等离子体微细加工专用设备。该机容量大，刻蚀精度较高且均匀，能连续完成打底膜、刻蚀、去胶。生产效率高，结构简单，成本低，其特征是：反应室内有水平放置的三个以上电极板或二个以上垂直于水平面放置的电极板，奇数极板并联为一组，偶数极板并联为一组，在电源线路高频放电回路上并联有可调节的直流偏置电路或正负半周对称波形可调节交流低频偏置电路，进气口和出气口按排连接恰当。
基本信息
专利标题 ：
大容量圆筒形平板型干法刻蚀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN90215562.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1990-12-12
授权号 ：
CN2084232U
授权日 ：
1991-09-04
发明人 ：
张崇玖何圣梅
申请人 ：
张崇玖;何圣梅
申请人地址 ：
226007江苏省南通市易家桥新村20号楼305室
代理机构 ：
江苏省南通市专利服务部
代理人 ：
杜忠元
优先权 ：
CN90215562.8
主分类号 ：
H01J37/305
IPC分类号 ：
H01J37/305 H01J37/077 H05K3/08
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/305
用于浇铸、熔化、蒸发或浸蚀的
法律状态
1996-01-24 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-05-20 ：
授权
1991-09-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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