喷嘴、辅助安装工具和干法刻蚀装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种喷嘴、辅助安装工具和干法刻蚀装置，所述喷嘴用于安装在干法刻蚀装置的反应腔的腔口处，所述喷嘴与所述腔口的内壁贴合，所述喷嘴包括喷嘴主体以及至少两个喷嘴连接孔，所述喷嘴连接孔开设于所述喷嘴主体背离所述反应腔内部的表面上；所述辅助安装工具包括杆部、手柄部、至少两个杆部连接孔以及与所述杆部连接孔和所述喷嘴连接孔匹配的连接件，所述手柄部与所述杆部连接，所述杆部连接孔开设于所述杆部上，所述杆部与所述喷嘴通过所述杆部连接孔、喷嘴连接孔和连接件实现可拆卸连接。本实用新型采用辅助安装工具安装喷嘴，安装过程平稳，不易倾斜卡于反应腔的腔口，提高了安装效率，也不易掉落摔碎，提高了使用安全性。
基本信息
专利标题 ：
喷嘴、辅助安装工具和干法刻蚀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922455283.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211182149U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
王义垚李强刘志攀
申请人 ：
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市中新广州知识城九佛建设路333号自编701室（自主申报）
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201922455283.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67 B23K10/00 B25B27/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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