本实用新型公开了一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，包括安装板和上盖板，所述上盖板位于安装板正上方，所述安装板和上盖板表面均开设有纵向滑槽和横向滑槽，所述横向滑槽位于纵向滑槽一端，且纵向滑槽和横向滑槽之间相互连通，所述安装板和上盖板两侧均开设有插扣槽，所述插扣槽内均插扣安装有封隔板，所述纵向滑槽内滑动安装有滑扣，所述滑扣表面焊接有安装架，本实用新型通过安装板底端卡扣安装的罩壳，可对等离子体刻蚀机的射频电源匹配器进行防护与信号屏蔽，通过安装架两侧表面螺栓安装的风琴板，便利于利用风琴板舒展性填补封隔板之间的间隙，从而起到提高屏蔽效果的功能。