一种离子刻蚀微调机用挡板装置
公开
摘要
本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板装置，涉及离子刻蚀微调机领域，该离子刻蚀微调机用挡板装置包括：挡板控制电源，用于控制高频电压输出；挡板控制数据线，用于将挡板控制电源输出电压输出给挡板安装控制电路板；挡板安装控制电路板，用于得电工作时对每路挡板产生电场，将23Ar离子流停流在挡板处，并随着真空抽走排出真空室；多路挡板机构，用于隔开挡板与外界；挡板，用于停放23Ar离子；挡板控制电源连接挡板控制数据线，与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明与原有挡板机构相比，由开关速度从原来的10ms~30ms提高到1ms以内，原有挡板为机械结构，会产生一定的机械磨损，故障率比较高；现有电子挡板不会在产生机械磨损。
基本信息
专利标题 ：
一种离子刻蚀微调机用挡板装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566419A
申请号 ：
CN202210139068.2
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-02-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
廖占武
申请人 ：
北京精恒工控科技有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区宋庄镇草寺村委会南300米
代理机构 ：
北京方政卫士专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王超
优先权 ：
CN202210139068.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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