一种采用分段式挡板的刻蚀机送料机构
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摘要
本公开提供了一种采用分段式挡板的刻蚀机送料机构，所述刻蚀机送料机构包括槽体、挡板，挡板和槽体围成的空间内设置有水平放置的辊筒；挡板由若干块分段挡板构成，分段挡板之间通过密封装置连接；分段挡板包括紧贴所述槽体外表面的挡板底座，分段挡板的上端口为波浪形溢流口；挡板底座设置有空间预留口，空间预留口设置有调节装置；密封装置为柔性工字型插销，柔性工字型插销的左侧面和右侧面分别设置有的凹槽，分段挡板嵌置于凹槽内。本公开刻蚀机送料机构解决了单道过刻、水膜用量大导致的背面发黑、背抛不良、减重异常、反射率偏低问题，从而减少了EL及外观不良风险形并且提升背面钝化效果减少复合，提升开路电压。
基本信息
专利标题 ：
一种采用分段式挡板的刻蚀机送料机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123231513.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216749929U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
赵赞良谢君霞刘世科王肖肖李卫东任金龙孙惠
申请人 ：
宁夏隆基乐叶科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区西夏区宏图南街115号
代理机构 ：
北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
董琳
优先权 ：
CN202123231513.8
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67 B65G49/06
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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