一种芯片生产用方便送料的刻蚀机
授权
摘要
本实用新型公开了一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，包括底座，所述底座的顶部固定安装有密封箱，所述密封箱的正面通过铰链铰接有密封门，所述底座内部的两侧均固定安装有第一安装杆，所述第一安装杆相对靠近的一侧均固定安装有两个放置杆，所述底座的顶部固定安装有第二安装杆，所述第二安装杆的底部设置有安装底板。本实用新型通过设置底座用于对密封箱进行安装，通过设置密封箱用于对物体进行刻蚀，通过设置密封门用于将物体送至密封箱的内部，同时与密封箱密封使得密封箱内部产生真空，同时解决了现有的刻蚀机较大，其刻蚀设备位于机体的中部不方便送料，从而导致生产效率低下的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种芯片生产用方便送料的刻蚀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022325722.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN213304074U
授权日 ：
2021-05-28
发明人 ：
陈尔城
申请人 ：
沈阳航科智能系统有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市沈抚新区金枫街75-1号0301
代理机构 ：
沈阳新科知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
史卫民
优先权 ：
CN202022325722.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-05-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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