一种腔体结构
授权
摘要
一种腔体结构，所述腔体结构包括腔体主体、通道结构、钟摆阀、分子泵和挡板，所述通道结构位于所述腔体主体的下方，所述钟摆阀连接所述通道结构，所述分子泵连接所述钟摆阀，以使所述分子泵通过所述通道结构吸出所述腔体内杂质，其特征在于，所述挡板用于所述通道结构，并贴合所述通道结构的内壁，所述挡板放置在所述钟摆阀上；采用该腔体侧壁挡板可以有效防止工艺过程中产生的副产物粘附在腔体下部分与分子泵连接的通道侧壁上。
基本信息
专利标题 ：
一种腔体结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922081130.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-27
授权号 ：
CN210778479U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
高堃朱辰涛张晓腾
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN201922081130.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN210778479U.PDF
PDF下载
