一种湿法刻蚀清洗烘干装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种湿法刻蚀清洗烘干装置，所述装置包括槽体、传送机构和隔断机构，所述槽体包括水洗槽和通过开设在所述隔断机构上的开口与所述水洗槽连通的烘干槽，所述传送机构用于通过所述开口将所述硅片在所述水洗槽和所述烘干槽之间传送，所述水洗槽内安装有水洗组件，所述烘干槽内安装有烘干组件，所述水洗槽还连通有排风管道；通过设置隔断机构实现烘干槽与水洗槽隔离，烘干槽与水洗槽仅通过设置在隔断机构上的开口连通，有效降低水洗槽顶部排风抽送作用对烘干槽干扰，从而大幅降低烘干槽内热损，可有效提升烘干槽温度15度以上，提升硅片烘干效果。

基本信息

专利标题：

一种湿法刻蚀清洗烘干装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022214851.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-29

授权号：

CN213747721U

授权日：

2021-07-20

发明人：

陈素素李文涛李甜

申请人：

晶澳太阳能有限公司

申请人地址：

河北省邢台市宁晋县晶龙大街

代理机构：

北京市万慧达律师事务所

代理人：

顾友

优先权：

CN202022214851.X

主分类号：

F26B15/12

IPC分类号：

F26B15/12 F26B21/00 F26B25/20 B08B3/02 B08B13/00