一种硅片清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片清洗装置，清洗装置通过多个传动机构动作相互配合，实现硅片的清洗动作，清洗效果大大提升。整体结构紧凑，承载能力强，操作简单。上下运动有固定导柱和滑轨，运动平稳、可靠。通过清洗装置实现上下大行程往复运动，液面下一定频率的上下微调，旋转运动，通过液体对硅片的冲刷作用，实现了对硅片的全方位的清洗；同时利用超声波在化学清洗液中的空化及直进流作用及化学试剂的腐蚀作用，快速清洗硅片表面污染物。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921137829.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-18
授权号 ：
CN210497454U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
葛正浩魏林林白鹏虞
申请人 ：
陕西科技大学
申请人地址 ：
陕西省西安市未央区大学园
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
王艾华
优先权 ：
CN201921137829.0
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/10 B08B3/08
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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