一种硅片清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片清洗装置，涉及硅片生产用装置技术领域，为解决目前硅片清洗时，大多将硅片直接导入清洗装置内，容易导致硅片的叠加和碰撞，从而影响清洗的效果，同时容易造成硅片的损伤的问题。所述壳体的下方分别安装有出水管和超声波换能器，且超声波换能器位于出水管的一侧，所述壳体的内部设置有清洗槽，所述清洗槽的内部设置有清洗框，所述清洗框的下端固定设置有固定条，所述固定条的内部设置有限位栏，限位栏有若干个，且若干个限位栏依次分布，所述限位栏内部的两侧均设置有侧限位夹，所述限位栏下端的内侧设置设置有下限位夹，所述清洗框上方的中间位置处设置有密封盖，所述密封盖的内部安装有限位橡胶条。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021084955.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN212550802U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
周良海
申请人 ：
南京蔚蓝新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区湖熟街道龙都社区虹南北路28号
代理机构 ：
南京禾易知识产权代理有限公司
代理人 ：
王彩君
优先权 ：
CN202021084955.7
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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