夹持机构和晶圆生产设备

授权

摘要

本实用新型提出一种夹持机构和应用了该夹持机构的晶圆生产设备，所述夹持机构包括：固定座；托板，所述托板设于所述固定座前方；压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；传动装置，所述传动装置设于所述固定座，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。本实用新型的技术方案，旨在实现晶圆盘的取放，提高取放晶圆盘的便捷性。

基本信息

专利标题：

夹持机构和晶圆生产设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020860251.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-20

授权号：

CN212352061U

授权日：

2021-01-15

发明人：

曾潇凯夏笔文程海阔

申请人：

深圳市大族富创得科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房2栋601

代理机构：

深圳市恒程创新知识产权代理有限公司

代理人：

苗广冬

优先权：

CN202020860251.8

主分类号：

B25J15/00

IPC分类号：

B25J15/00