晶圆裂片圆切机构
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种晶圆裂片圆切机构,包括精密滚珠丝杠组件,滚珠丝杠组件的螺母外侧下部通过轴承旋转固定在切割架上,滚珠丝杠的螺母外侧上部套接齿环,齿环与固定在圆切刀架上的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合;螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮,圆柱齿轮与固定在圆切刀架上的螺杆转动伺服电机输出端固定的第二齿轮啮合;螺杆下端径向固定有旋转臂,旋转臂的端部均固定有刀轮安装座,刀轮安装座端部通过摆动装置连接有刀轮。在螺杆移动伺服电机的带动下使切刀轮达到晶圆表面,螺杆移动伺服电机和螺杆旋转伺服电机的共同作用下使得螺杆开始转动,使得刀轮的角度能够得到调整,两侧的刀轮使得在切割过程中保持平稳。
基本信息
专利标题 :
晶圆裂片圆切机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114407104A
申请号 :
CN202210105307.2
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
闫兴陶为银巩铁建蔡正道乔赛赛张伟鲍占林王鹏杜磊
申请人 :
河南通用智能装备有限公司
申请人地址 :
河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号
代理机构 :
郑州中原专利事务所有限公司
代理人 :
张春
优先权 :
CN202210105307.2
主分类号 :
B26D1/28
IPC分类号 :
B26D1/28 B26D7/26 B29C63/02 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B26
手动切割工具;切割;切断
B26D
切割;用于打孔、冲孔、切割、冲裁或切断的机器的通用零件
B26D1/00
以切割元件本身或其运动为特征的贯穿工件的切割;所用的装置或机器;所用的切割元件
B26D1/01
有不随工件移动的切割元件
B26D1/12
有绕轴运动的切割元件
B26D1/25
有非圆形切割元件
B26D1/26
绕大体上垂直于切削线的轴运动
B26D1/28
并且切割时连续在一个方向上转动
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B26D 1/28
申请日 : 20220128
申请日 : 20220128
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载