适用于晶圆检测的晶圆夹持机构及翻旋转系统
公开
摘要
本发明公开了适用于晶圆检测的晶圆夹持机构及翻旋转系统，其晶圆夹持机构包括夹座、形成夹持区的多个夹头、以及驱动器，夹座呈环状，且环内壁形成环形检测腔，晶圆夹持机构还包括第一环体和第二环体，其中第一环体和第二环体相对转动设置；多个夹头绕着第一环体周向间隔分布，且每个夹头均沿着环形检测腔的径向弹性运动地设置在第一环体上，第二环体自外轮廓抵触在每个夹头上。本发明通过夹头的弹性夹持，降低晶圆夹持破损率，同时在保持晶圆一直处于夹持状态下，通过晶圆自转且夹头与晶圆接触点随着夹头同步夹持和松开运动换位，从而在晶圆一次装夹下，能够全面实施晶圆检测。
基本信息
专利标题 ：
适用于晶圆检测的晶圆夹持机构及翻旋转系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114603527A
申请号 ：
CN202210500125.5
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-05-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
颜博
申请人 ：
苏州新尚思自动化设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区太湖新城中山南路568号兰生沃德威互联网产业园25幢101-1
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
方中
优先权 ：
CN202210500125.5
主分类号 ：
B25H1/08
IPC分类号 ：
B25H1/08 B25H1/10 G01N35/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25H
车间设备，例如用于工件划线；车间储存设备
B25H1/00
工作台；用于放置轻便工具或工件的轻便台座或支架，在台座或支架上操作工作
B25H1/08
有工件夹持器的固定装置
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
