晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及一种晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置，包括晶圆转盘装置、方向检测传感器和方向检测系统，晶圆转盘装置上带有一个转盘，方向检测传感器也安装在晶圆转盘装置上，且位于转盘的边缘；方向检测系统包括一个步进电机和一个与步进电机相联接的摄像头，转盘位于摄像头的下方。由于先后通过方向检测传感器和方向检测系统的双重方向检测，因此可以保证机械手送到晶圆打标平台上的晶圆方向准确无误，打标质量大大提高。
基本信息
专利标题 ：
晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720151377.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-07-12
授权号 ：
CN201075382Y
授权日 ：
2008-06-18
发明人 ：
陈有章林宜龙唐召来张松岭冀守恒
申请人 ：
格兰达技术(深圳)有限公司
申请人地址 ：
518000广东省深圳市宝安区龙华大浪同富裕工业园华荣路龙富工业区3.4.7.8栋1－4层
代理机构 ：
北京英特普罗知识产权代理有限公司
代理人 ：
齐永红
优先权 ：
CN200720151377.2
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2012-09-05 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101323326150
IPC(主分类) : H01L 21/66
专利号 : ZL2007201513772
申请日 : 20070712
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 20110712
号牌文件序号 : 101323326150
IPC(主分类) : H01L 21/66
专利号 : ZL2007201513772
申请日 : 20070712
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 20110712
2008-06-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
