晶圆盒检测装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种晶圆盒检测装置，所述晶圆盒检测装置包括：具有相对设置的第一表面和第二表面的基座；与所述晶圆盒上指定的待测结构的表面贴合并用于检测所述待测结构是否发生变形的多个限位检测结构；多个所述限位检测结构对应于多个所述待测结构，并设置于所述第一表面上；用于检测所述待测结构中指定的待测平面是否发生翘曲的翘曲检测结构。本实用新型通过引入对应于晶圆盒上的多个待测结构的多个限位检测结构，将多个待测结构的检测集成于单一检测装置；通过引入翘曲检测结构，检测指定待测平面的翘曲，从而实现了对晶圆盒形变的快速而准确的检测。
基本信息
专利标题 ：
晶圆盒检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920851989.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-06
授权号 ：
CN209840949U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
布兰登·布雷中村优菊池健李秉隆
申请人 ：
芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
余明伟
优先权 ：
CN201920851989.5
主分类号 ：
G01B5/30
IPC分类号 ：
G01B5/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/255
••用于检测轮子的准直
G01B5/30
用于计量固体的变形，例如机械应变仪
法律状态
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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