一种晶圆运送盒，包括：一外壳，包括一底座及一上盖；一卡匣件，可分离地设在底座内，卡匣件的两相对侧壁分别设有多个晶圆容置槽，每两个相邻的晶圆容置槽间以一凸肋分隔；以及一上辅助限位单元，一体成型地连设在上盖内，并包括两排彼此相对突伸且分别与一晶圆容置槽对应的上保持件，及两排分别由上盖底侧朝向卡匣件内侧突伸的导引件，且每一导引件的至少末端部分邻近于一晶圆容置槽一侧的凸肋表面。通过这些导引件的导引，可确保晶圆运送盒在盖合过程中，上保持件与晶圆能相对正，以正确持稳晶圆并提供缓冲而降低晶圆损伤及破裂的风险。