基板收纳容器
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种具备保持器的基板收纳容器，该保持器具有能够有效地吸收基板的挠曲的结构。基板收纳容器包括：容器主体，收纳基板；盖体，用于封闭设置在容器主体的前面的开口；以及保持器，设置于盖体的后面侧，用于限制基板向前面侧的移动；其中，保持器由框体、抵接部以及梁结构体一体化而构成，框体可装卸地设置于盖体的后面侧，抵接部具有抵接于基板从而限制基板向前面侧移动的凸状部位，梁结构体将抵接部和框体结合，抵接部以及梁结构体设置为自盖体离开。
基本信息
专利标题 ：
基板收纳容器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270491A
申请号 ：
CN202080058259.5
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-07-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金井聡
申请人 ：
信越聚合物株式会社
申请人地址 ：
日本东京千代田区神田须田町一丁目9番(邮递区号:101-0041)
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
张海明
优先权 ：
CN202080058259.5
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20200710
申请日 : 20200710
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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