一种基板收纳载具
授权
摘要
本实用新型公开了一种基板收纳载具，包括箱体，所述箱体的内底部设有滑槽，所述滑槽的上方沿竖直方向设有两个对称设置的移动板，两个移动板均通过转轴滑动连接在滑槽内，所述移动板上设有用于对基板进行固定的固定机构，所述箱体内还设有用于对基板进行清洁的清洁机构，所述箱体的侧壁上还固定连接有壳体，所述壳体内设有用于对清洁机构提供动力的动力机构。本实用新型结构合理，通过设置固定机构实现对基板进行有效的固定，减小运输过程对基板的损害，提高基板的利用率，通过设置清洁机构实现对基板上的灰尘进行便捷、快速的清除，提高工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种基板收纳载具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021748373.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN213278037U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
朱孝国卢鹏鹿中喜王中波
申请人 ：
苏州优可奇精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区东富路8号2幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021748373.4
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/677 B08B1/04
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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