基板收纳容器
公开
摘要
本发明提供一种提高了搬送零件的安装力的基板收纳容器。基板收纳容器(1)具备搬送零件(30)，通过使其相对于容器主体(20)从后方向前方相对位移而能够安装于容器主体(20)；其中，容器主体(20)具备向上方突出的主体侧突起部件(29)，搬送零件(30)具备向下方突出的零件侧突起部件(34)；在安装状态下，零件侧突起部件(34)与主体侧突起部件(29)的前侧卡合以限制向后方的位移；对零件侧突起部件(34)朝向上方施加所定载荷时的位移量小于对主体侧突起部件(29)朝向下方施加同样的所定载荷时的位移量。
基本信息
专利标题 ：
基板收纳容器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114342058A
申请号 ：
CN202080062010.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-08-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
戸田顺也须田贵志
申请人 ：
信越聚合物株式会社
申请人地址 ：
日本东京千代田区神田须田町一丁目9番(邮递区号:101-0041)
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
章愫
优先权 ：
CN202080062010.1
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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