晶圆盒
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种晶圆盒，涉及晶圆储存设备技术领域。晶圆盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧板的内壁上分别纵向设置有相互平行的隔板，相邻两所述隔板之间形成用于容纳晶圆载具的插槽，两所述侧板的前端分别设置有齿状结构，相邻两所述隔板分别延伸至所述齿状结构的齿顶和所述齿状结构的齿槽。使用本实用新型晶圆盒时不易放偏晶圆载具，不会划伤产品，保证了产品的质量，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
晶圆盒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921469104.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-05
授权号 ：
CN210129494U
授权日 ：
2020-03-06
发明人 ：
于培学孟凡亮
申请人 ：
歌尔科技有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室
代理机构 ：
潍坊正信致远知识产权代理有限公司
代理人 ：
李红亮
优先权 ：
CN201921469104.1
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-08-25 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/673
登记生效日 : 20200805
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 歌尔科技有限公司
变更后权利人 : 歌尔微电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 266104 山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室
变更后权利人 : 266104 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
登记生效日 : 20200805
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 歌尔科技有限公司
变更后权利人 : 歌尔微电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 266104 山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室
变更后权利人 : 266104 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
2020-03-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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