晶圆输送盒

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种晶圆输送盒，涉及半导体制造中的搬运装置。该晶圆输送盒包括盒体以及位于盒体上面的上盖，盒体的底部设有固定模块，上盖设有与固定模块位置对应的凹槽，其中所述固定模块的横截面为梯形。进一步地，所述固定模块突起的高度是6mm。与现有技术相比，本实用新型的晶圆输送盒通过将固定模块设计成梯形，增加了与真空包装袋的接触面积，可以减少磨破的几率；通过减少固定模块的高度，可减少真空包装袋与输送盒放置平面的摩擦几率。

基本信息

专利标题：

晶圆输送盒

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720074737.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-09-17

授权号：

CN201112363Y

授权日：

2008-09-10

发明人：

许俊顾玲英

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

200000上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200720074737.3

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/673

使用专用的载体的

法律状态

2017-10-31 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20070917
授权公告日 : 20080910

2013-03-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101536993867
IPC(主分类) : H01L 21/673
专利号 : ZL2007200747373
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200000 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130219

2008-09-10 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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