锁频单脉冲红外超快激光晶圆打标方法和系统
公开
摘要
本发明提供锁频单脉冲红外超快激光晶圆打标方法和系统，所述方法包括步骤：1)设置能够在高重复频率下发射高能量单脉冲且单脉冲能量一致性高的超快激光器；2)锁定发射频率为定值；3)所述超快激光经过整形光路、光束传输光路输入到振镜、再经过场镜后聚焦晶圆表面；4)在软硬件控制器的控制下完成打标。本发明的打标方法通过高单脉冲能量的超快激光汽化材料加工面来实现打标，几乎没有热影响区出现，将激光对晶圆的破坏程度减小到最低，但打标结果精密、细致、牢固，提供全新的效果。堆积物高度大幅降低、晶圆表面粗糙度小，打标的一致性和均匀性好。
基本信息
专利标题 ：
锁频单脉冲红外超快激光晶圆打标方法和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114260584A
申请号 ：
CN202210019680.6
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2022-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
北京赢圣科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区高梁桥斜街28号7号楼109
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210019680.6
主分类号 ：
B23K26/362
IPC分类号 ：
B23K26/362 B23K26/0622 B23K26/70
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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