本实用新型涉及一种晶圆背面打标机的晶圆打标平台装置，包括打标平台底板、打标平台底板上方的传动装置，以及设置在传动装置上的晶圆平台托板，晶圆平台托板的中央为晶圆打标位置，传动装置与打标机的PC装置电连接，所述的晶圆打标位置上设置有一块光学玻璃，待打标的晶圆背面支承在光学玻璃上。所述的传动装置包括一套纵向传动装置和一套横向传动装置，横向传动装置设置在纵向传动装置的上方。由于晶圆的背面被支承在光学玻璃上，保证了晶圆不会变形，提高了打标打标速度和质量；利用横纵两个方向的传动装置，使得在PC控制下，能自动将晶圆移动到任何需要的位置，满足晶圆的各种检测和打标的要求。