晶圆定位机构

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆定位机构，包括夹紧气缸及保护夹爪，夹紧气缸包括气缸主体及两滑动安装于气缸主体的气爪夹头，保护夹爪包括两夹持组件，每一夹持组件固定于一气爪夹头，每一夹持组件设有粗定位夹持面及精定位夹持面，粗定位夹持面及精定位夹持面连接，晶圆夹持于两夹持组件的粗定位夹持面进行粗定位后滑落至精定位夹持面进行精定位，整个定位过程中，只有晶圆侧缘与粗定位夹持面及精定位夹持面碰触，光刻面不接触，无污染。

基本信息

专利标题：

晶圆定位机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921621990.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-26

授权号：

CN210866145U

授权日：

2020-06-26

发明人：

周李渊

申请人：

长园启华智能科技（珠海）有限公司

申请人地址：

广东省珠海市唐家湾镇软件园路1号会展中心1#三层1单元301、302房

代理机构：

广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

成婵娟

优先权：

CN201921621990.5

主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/68