晶圆加工设备

授权

摘要

本实用新型涉及一种晶圆加工设备，包括晶圆载具、气源提供装置、及导向托盘。晶圆载具设有吹气通道。吹气通道的出气口形成于晶圆载具的承载面。气源提供装置与吹气通道的进气口相连通。导向托盘设置于承载面的上方，导向托盘的底面与出气口相对设置，与承载面之间形成有气流间隙。气源提供装置将气体通过吹气通道送入，经吹气通道的出气口外排，出气口排出的气体在导向托盘的导向作用下，经气流间隙朝向承载面的边缘方向吹扫，从而能将承载面上及晶圆载具的边缘上的颗粒物吹扫清洁干净。此外，在对晶圆载具清洁过程中，导向托盘能承受腔室中掉落的颗粒物，避免颗粒物掉落到承载面上。

基本信息

专利标题：

晶圆加工设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921640988.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-29

授权号：

CN210378981U

授权日：

2020-04-21

发明人：

不公告发明人

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

张亚菲

优先权：

CN201921640988.2

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67