用于防止溅液的晶圆刷洗机
授权
摘要
本申请涉及一种用于防止溅液的晶圆刷洗机，包括：机台；固定机构，设置在机台上以将目标物固定；涂胶机构，设置在固定机构的一侧，且可相对于固定机构移动，以对目标物进行涂胶；清洗机构，设置在固定机构的一侧，且可相对于固定机构移动，以对目标物进行清洗；以及驱动机构，设置在机台上；其中，固定机构包括形成有腔体的固定壳体、设置在固定壳体内的固定件，驱动机构包括与固定壳体连接的第一驱动件，第一驱动件驱动固定壳体沿机台的高度方向移动。通过上述，其能够提高清洁效率、且能够防止水溅射。
基本信息
专利标题 ：
用于防止溅液的晶圆刷洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220076627.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-12
授权号 ：
CN216705248U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
沈达万士元邹祖航管发海
申请人 ：
吾拾微电子（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区01栋205室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202220076627.5
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
