一种用于晶圆加工的晶圆清洗机
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域,公开了一种用于晶圆加工的晶圆清洗机,包括箱壳和位于箱壳顶部的翻盖,所述箱壳的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆,两个所述直杆之间固定连接有晶圆固定件,所述箱壳上设置有与背面所述直杆传动连接的动力件,所述箱壳的内部转动连接有位于晶圆固定件左侧的横管,所述横管的右端连通有短管,所述短管的右侧连通有等距离分布的喷头。该用于晶圆加工的晶圆清洗机,具备清洗效率高等优点,解决了现有技术中,待清洗的晶圆板固定在晶圆清洗机的清洗台上,通过位于清洗台上方的喷水头对清洗台上的晶圆板进行冲洗,清洗范围有限,不能对晶圆板的反面进行清洗,需要反向再次放置晶圆板,使得清洗效率低的问题。
基本信息
专利标题 :
一种用于晶圆加工的晶圆清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123096965.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-10
授权号 :
CN216323723U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
高文峰
申请人 :
上海祎丰环保科技有限公司
申请人地址 :
上海市金山区亭林镇松隐育才路121弄22号1幢128室
代理机构 :
苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭玉静
优先权 :
CN202123096965.X
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载