晶圆清洗机防脱落装置
授权
摘要
本实用新型公开了晶圆清洗机防脱落装置，包括底座，所述底座的内侧壁底部位置设置有动滑轮，所述底座的内侧壁顶部位置设置有动滑轮，所述动滑轮与动滑轮之间设置有安全绳，所述安全绳的一端安装有移动板，所述移动板的上端设置有旋转台，旋转台的上表面固定连接有支撑杆体，所述支撑杆体的侧壁设置有晶圆主体，所述支撑杆体的一侧侧壁设置有防护箱，所述防护箱的内部设置有转动轮，所述转动轮的内侧壁转动连接有棘爪，所述转动轮的内部设置有棘轮，所述棘爪的一端卡接在棘轮的内部，所述棘轮的内部固定连接有螺栓杆。本实用新型增加防护结构，避免其脱落，可以调节清洗台的高度，保证清洗效果和晶圆的产品质量。
基本信息
专利标题 ：
晶圆清洗机防脱落装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020409426.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-27
授权号 ：
CN212370666U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
田英干
申请人 ：
嘉兴晶装电子科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷园区创业中心A座433室
代理机构 ：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王大国
优先权 ：
CN202020409426.3
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
