晶圆清洗机
授权
摘要
1.本外观设计产品的名称:晶圆清洗机。2.本外观设计产品的用途:用于清洗晶圆。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
基本信息
专利标题 :
晶圆清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202130838523.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-17
授权号 :
CN307266977S
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
刘盛巫礼杰童灿钊李迁刘航赵冬冬刘佳鑫高云峰
申请人 :
大族激光科技产业集团股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区深南大道9988号
代理机构 :
深圳市道臻知识产权代理有限公司
代理人 :
陈琳
优先权 :
CN202130838523.4
主分类号 :
15-05
IPC分类号 :
15-05
法律状态
2022-04-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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