本实用新型公开了全自动晶圆清洗机，包括机体，所述机体内部设有第一腔体及第二腔体，并且所述第一腔体与所述第二腔体之间设有清洗腔，所述机体的前端设有机头，所述机头内部设有物料升降机构、第一弹匣及第二弹匣，所述清洗腔设有清洗摆臂机构及可真空吸附的陶瓷吸盘，所述第一腔体设有物料纵走机构、清洗盖升降机构及物料承载臂，所述物料纵走机构设有可夹取物料的气动夹爪，所述第二腔体设有主轴升降机构及主轴旋转机构，并且所述主轴升降机构与所述主轴旋转机构分别对接所述清洗腔，本实用新型通过升降式的送料及出料，并且通过自动夹取并实现自动清洗的功能实现全自动化清洗，提高清洗效率减少人工成本。