全自动硅料清洗机
授权
摘要

本实用新型公开了一种全自动硅料清洗机,包括底座,底座上依次设置有上料机构、强酸腐蚀槽、快排漂洗槽、超声漂洗槽及下料机构,底座上设置有支撑架,支撑架上沿长度对称设置有两个水平滑轨,水平滑轨通过滑块与若干个机械手滑动连接,机械手位于能通过水平气缸驱动其进行水平往复运动;机械手包括两端分别与两个水平滑轨通过滑块连接的连接板,连接板上对称设置有两个丝杆,两个丝杆分别与支撑板的两端连接,支撑板能通过气动夹爪与待清洗件接触,支撑板通过垂直电机驱动丝杠转动带动其进行竖直往复运动,当支撑板竖直移动到位时,待清洗件能位于强酸腐蚀槽/快排漂洗槽/超声漂洗槽内,装置结构简单,能够实现全自动硅料清洗并提高稳定性。

基本信息
专利标题 :
全自动硅料清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921760035.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-18
授权号 :
CN210876531U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
闵霞顾正龙
申请人 :
张家港海扬超声清洗设备有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港杨舍镇塘市南庄村金港大道848号张家港海扬超声清洗设备有限公司
代理机构 :
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
丰叶
优先权 :
CN201921760035.X
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08  B08B3/12  B08B3/04  B08B13/00  F26B21/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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