本实用新型属于半导体设备技术领域，具体涉及全自动单片清洗机，包括机体、设置在机体内部的清洗装置和用于固定晶圆的放置组件；所述机体内部固设有横向的隔板，所述机体的前端面上开设有置料门和检修门，置料门和检修门分别位于隔板的上下两侧，所述置料门的一侧安装有控制面板；所述放置组件主要包括设置在隔板上方的放置盘和安装于隔板下表面的驱动电机，所述放置盘上设置有用于固定晶圆的定位组件，所述驱动电机的输出轴贯穿隔板且顶部与放置盘的下端面中心处固定连接，克服了现有技术的不足，采用清洁刷和清洁剂进液机构，有效的提升晶圆的清洗效率和清洁度，提高设备的自动化水平，减少人工操作的工作量。