多晶硅清洗机
授权
摘要

本实用新型公开了多晶硅清洗机。该多晶硅清洗机包括:本体和惰性气体喷吹装置,本体内设有机械手和顺序布置的酸腐蚀槽、第一快速冲洗槽、第二快速冲洗槽和纯水过渡槽;惰性气体喷吹装置包括输气管道和多个风刀喷口,输气管道伸入本体内并延伸至酸腐蚀槽和第一快速冲洗槽上方;多个风刀喷口设在输气管道上并沿输气管道的走向间隔分布,且多个风刀喷口分别独立地朝向酸腐蚀槽和第一快速冲洗槽区域。该多晶硅清洗机结构简单、安装方便、投资小、见效快,能有效解决多晶硅物料在酸洗过程中酸与空气接触而造成的多晶硅物料二次污染的问题,保证清洗质量和清洗效果。

基本信息
专利标题 :
多晶硅清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020127798.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-19
授权号 :
CN211914788U
授权日 :
2020-11-13
发明人 :
陈辉曲宏波刘应全张潼蔡爱梅张征张邦洁
申请人 :
洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市洛龙科技工业园牡丹大道西1号
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
宋合成
优先权 :
CN202020127798.7
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08  B08B13/00  C30B33/10  C30B29/06  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-11-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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